-质谱检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射-气5~10s后,-质谱检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上-气在真空系统中的传递时间,即为两次喷-的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,正压-质谱检漏设备厂家,两次喷-的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷-后30s内-质谱检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷-。
清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对-的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者-,正压-质谱检漏设备厂家,在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
-质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释-质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的-质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源n内,气体被电离成离子。在电场作用下离子-成束,并以一定的速度经由缝隙s1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压u使-离子束m2恰能通过缝隙s2到达收集极k而形成离子流。利用弱电流量测设备,正压-质谱检漏设备厂家,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于m2的离子束如图中m1,m3则以不同的偏转半径而被分开。
灵敏度高,还具有适应范围广、定位定量准确、-、安全、反应速度快等优点。当磁场的磁通密度一定时,不同质荷比m/e的离子在磁场中都有相应的运输半径,也就是都有相应的圆轨迹,这样,不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉,而在对应的-离子运动半径位置的档板上开一狭缝,狭缝后安置离子接收极,这样的只有-离子才能通过狭缝而被接收极接收形成-离子流,-质谱检漏设备厂家,并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时,如果用-气喷吹漏孔,-气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中,使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来,达到了检漏的目的。
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