10万级洁净室-中发净亿方(在线咨询)-合肥洁净室

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2021-8-10  
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洁净室中的温湿度控制


相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35-45%。对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。


实验室净化工程主要采用人工手段,运用清洁技术控制室内空气中的灰尘、---浓度、温度、湿度和压力,10万级洁净室,达到所需的清洁度、温度、湿度和气流速度等环境参数。因此,净化工程的设计施工应遵守哪些规范?

净化工程的设计施工应遵守哪些规范?

1、净化工程施工,从设计、材料采购到安装过程,必须严格按照规范和要求进行操作,严格执行iso9001标准体系,合肥洁净室,---净化工程施工的进度和。

2、净化工程对机械设备的选择、材料的使用、技术操作的安装等都有---的要求。所用设备准备齐全,重量轻,体积小。使用时,必须按照手册的要求进行。根据工艺管道的材质要求,万级洁净室,焊接过程中采用不锈钢严格控制焊接工艺。





气压规定

对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:

1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。





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