对于真空镀膜机设备而言，真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分，制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。
真空镀膜机在选择如何选择真空泵时，应注意以下事项：
1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的-真空和工作压力要求。
2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围，
3.真空泵在工作压力下，应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4.真空泵的正确组合有选择性吸入，有机高分子镀膜设备厂家，所以有时选择一种泵也不能满足进气要求，必须与几种泵结合，互相补充，才能满足进气要求。
真空镀膜设备主要指需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，石排有机高分子镀膜设备，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
无论监控仪精度怎样，它也只能控制真空室里单点位置的膜厚，一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的，那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性，但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的，所以几乎是不可能消除的，但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响较小。
parylene是美国union carbide co.公司在六十年代推出的一种气相沉积高分子聚合物材料，由的真空气相沉积工艺制备，有机高分子镀膜设备制造商，能涂敷到各种形状的表面，号称“无孔不入”，被业内称为好的防潮、防霉、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。parylene可分为n型、c型、d型、f型、ht型等多种类型
现在，系统的平均尺寸规格已经在降低，而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。
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