磁控溅射镀膜机
各种镀膜技术都需要一个蒸发源或蒸发靶,以便将蒸发的成膜物质转化为气体。随着来源或目标的不断提高,电影制作材料的选择范围也---扩大。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物,都可以气相沉积各种金属膜和介质膜,不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。
蒸发或溅射出的成膜材料是在一般磁控溅射条件下与待镀工件形成膜的过程。膜厚可以测量和控制。磁控镀膜机的真空镀膜技术的特点主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积和化学气相沉积。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,光学真空镀膜设备,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、mbe分子束外延镀膜机和pld激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,台湾镀膜设备,通过成膜过程形成薄膜。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,刀具镀膜设备,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、mbe分子束外延镀膜机和pld激光溅射沉积镀膜机等很多种。真空镀膜机对于溅射类镀膜,眼镜镀膜设备,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,蒸发或溅射出的成膜材料是在一般磁控溅射条件下与待镀工件形成膜的过程。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物,都可以气相沉积各种金属膜和介质膜,不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。
|