采用真空蒸发镀膜制作预定成分的合金薄膜的方法，经常采用的是瞬间蒸发法和双蒸发源蒸镀法。
镀膜系统一般由三个部分组成：真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料，需要容器来支撑或盛装蒸发物，同时需要提供蒸-使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。一般应选择镀膜材料的温度到达蒸发温度时，真空镀膜加工，蒸发源材料的蒸气压低于10-6pa的材料做蒸发源。
真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支，在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。parylene中文称：派瑞林、聚对二---，螺丝真空镀膜，或派拉伦是对一系列---的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作parylene，即聚对二---，玻璃真空镀膜厂，是一种完全线性的高度结晶结构的材料。真空镀膜
东莞拉奇纳米科技有限公司，是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
镀膜技术在传感器方面的应用
在传感器中，多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说，常平真空镀膜，---敏感的半导体材料。此外，其中大多数利用的是半导体的表面、界面的性质，需要尽量增大其面积，且能工业化、格制作、因此采用薄膜的情况很多。
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