激光干涉仪检测平面度

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深圳市中图仪器股份有限公司为您提供激光干涉仪检测平面度。sj6000激光干涉仪检测平面度测量精度高、速度快,稳定性好,配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度;应用范围广,可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测,结合软件系统,也可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析,实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析;软件界面友好,向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
组件
1、光学镜组
1线性镜组
应用于机器轴的定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等;也可用于机器轴的动态测量分析。
2角度镜组
应用于机器轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量;亦可以用于转轴的角速度和角加速度的动态测量分析。
3直线度镜组
应用于导轨或机器轴的直线度测量,包含水平方向和垂直方向的直线度。
4平面度镜组
进行平面度的测量和分析,其平面度羁绊长度可调。
5线性附件-轻型线性镜组
轻型线性镜组包括缩光镜和小角锥反射镜,其中小角锥反射镜重量仅为8g,可以直接在被测物体上,有效降低线性反射镜过重带来的影响。主要应用于先行反射镜的重量可能影响到被测轴系的机械性能或精度;线性反射镜的尺寸遇到较为困难的装夹场合;负载敏感的动态测量。
6大角锥反射镜
应用于机器z轴方向的直线度测量或垂直度测量,起反射光束的作用。
7垂直度镜组
应用于两条相互垂直的机器轴的垂直度测量场合。
sj6000激光干涉仪检测平面度测量分辨率0.01″,系统测量精度为±1″,基准wr50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。
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