3靶等离子溅射仪

郑州良表仪器设备有限公司为您提供3靶等离子溅射仪。3靶等离子溅射仪技术参数
输入功率
110v / 220v 通用
< 2000w (含真空泵)
输出功率
1600vdc
---电流50ma
样品室
石英罩： 160 mm dia. x 120mm ht=
加热样品台

一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置
基片可以放在样品台上. 加热温度 500°c
pid控温方式和触摸屏面板，控温精度+/-10°c
长溅射时间不可超过5分钟
控制面板

控制面板为plc，4.3" 触摸屏
一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置 和 基片加热温度
可选


kf25 真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管
120l/m旋片式真空泵包含在仪器内
不锈钢波纹管与kf-25真空接口相连接
各种高纯度金属靶
需要一个带压力调节器的氩气瓶 这个我们不提供
进气口
一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量
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