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选择去离子水设备的必---要性
去离子水在电子工业主要是线路板、电子元器件生产中的重要作用日益---,去离子水质已成为影响线路板、电子元器件产品、生产成品率及生产成本的重要因素之一,水质要求也越来越高。在电子元器件生产中,去离子水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料,不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。
在晶体管、集成电路生产中,去离子水主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制,硅片氧化的水汽源,部分设备的冷却水,配制电镀液等。集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片,水质的好坏与集成电路的产品及生产成品率关系很大。水中的碱金属k、na等会使绝缘膜耐压---,重金属au、ag、cu等会使pn结耐压降低,ⅲ族元素b、al、ga等会使n型半导体特性恶化,ⅴ族元素p、as、sb等会使p型半导体特性恶化[2],水中---高温碳化后的磷约占灰分的20-50%会使p型硅片上的局部区域变为n型硅而导致器件性能变坏[3],水中的颗粒包括---如吸附在硅片表面,就会引起电路短路或特性变差。
去离子水中杂质的污染源
1.水源的影响
由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天--然水中含有各种盐类和化合物,溶有co2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天--然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、---、微生物、藻类、浮游生物、热源等。
2.材料的影响
制备去离子水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。一些高分子材料,在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂、紫外吸光剂、着色剂,也引入大量的金属、非金属杂质,同时还会带来有机污染。
3. 去离子水生产工艺介绍,制备电路板pcb去离子水的工艺流程大致分成以下几种:
1、采用离子交换方式,其流程如下:
原水***原水加压泵***多介质过滤器***活性炭过滤器***软水器***精密过滤器***阳树脂过滤床***阴树脂过滤床***阴阳树脂混床***微孔过滤器***用水点
2、采用两级反渗透方式,其流程如下:
原水***原水加压泵***多介质过滤器***活性炭过滤器***软水器***精密过滤器***di一级反渗透 ***ph调节***中间水箱***di二级反渗透反渗透膜表面带正电荷***纯化水箱***纯水泵***微孔过滤器***用水点
3、采用edi方式,其流程如下:
原水***原水加压泵***多介质过滤器***活性炭过滤器***软水器***精密过滤器***一级反渗透机***中间水箱***中间水泵***edi系统***微孔过滤器***用水点
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