工业型原子力显微镜

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◆ 实现样品保持不动,探针移动扫描的原子力显微镜;
◆ 采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围---扫描;
◆ 样品尺寸、重量基本不受---,---适合集成电路晶圆等---样品检测;
◆ 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附式载物台;
◆ ---行程二维电动样品移动台,快速选择感兴趣的样品区域;
◆ 高倍光学定位系统,实现探针
工业型原子力显微镜技术参数
◆ 基本工作模式:接触、轻敲、f-z力曲线测量、rms-z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力
◆ 选配工作模式:profile线快速测量模式
◆ 样品尺寸:φ***300mm,h***50mm
◆ 闭环扫描范围:xy向100um,z向10um
◆ 闭环扫描分辨率:xy向0.2nm,z向0.05nm
◆ 样品移动范围:300mm×300mm
◆ 辅助光学定位:10x物镜,光学分辨率1um可选配20x,光学分辨率0.8um
◆ 气动式减震台,减震频率0.5hz
◆ 噪音水平:<0.1nm
工业型原子力显微镜详情:

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