佳保材料科技股份有限公司为您提供激光切割保护液--、 合作。###激光切割保护液说明介绍:
晶圆后道制程或是玻璃加工当以激光技术进行切割,开槽时,会有以下问题影响良率:
1. 切割道崩裂,破片,降低后道制程良率
2. 高温融熔状态激光开槽碎屑回溅导致晶圆表面火山口以及造成短路
3. 开槽后不易清洗
佳保材料科技innochem产品是---为激光切割制程而设计的激光切割保护液,自有技术用以增加切割制程中的润滑度,与---的冷却效果.
『gmax』,有以下优点:
晶圆表面产生保护膜
提高黏着力,防止因保护膜分层而导致硅蒸气凝结物在晶圆上的污染。
雷射切割在线更容易分解保护膜,而其他非切割区有足够的热稳定性可以保护晶圆不被凝结沉积物污染。
保护膜更容易清洗,无残留的材料
自有生产技术可以客制调整材料的特性以配合不同技术参数优化激光切割良率。
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