供应离子束抛光机

上海特彩机电设备有限公司为您提供供应离子束抛光机。主机 描述
系统配置 精密3轴cnc系统，“t” 型布局
加工范围 750mm×750mm
腔体结构 主真空腔体φ1700mm×1450mm,304,副真空腔体304
法拉第扫描系统 法拉第杯电流收集器，电流放大器1000倍，扫描软件系统带补偿分析和校正
计算机配置 intel i5 2.4ghz处理器，64-bit 位windows 7版，16gb内存，10/100/1000以太网
接口，dvd rw光驱，50gb硬盘，usb接口
控制系统 acs cmba-3c04n0n800wnnnyn
编程分辨率 0.1μm
性能展示 可加工平面、球面、柱面、非球面、离轴非球面、自由曲面等原件，加工材料包括
金属、 玻璃、晶体、红外材料、宝石等
加工精度rms＜1nm
离子源 指标
类型 射频离子源
3石墨栅网focusing girds with r=150mm
栅网孔直径d=1mm,栅网孔区域直径d=38mm(resulting ion beam profile fwhm 25mm)
中和器 钨丝阴极结构中和器，0.3mm钨丝
2个高压电源结构，bnc型号
离子源束电压直流电源0-2000v
电源 离子源加速电压直流电源0-1000v
中和器直流电源0-30a
射频电源0-300v
线性轴 x z y
行程 800mm 150mm 800mm
驱动系统 直流直线电机 直流直线电机 直流直线电机
反馈类型 renishaw真空光栅尺反馈 renishaw真空光栅尺反馈 renishaw真空光栅尺反馈
反馈分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
进给速度 运动速度＞100mm/s, 运动速度＞100mm/s, 运动速度＞100mm/s,
加速度＞2m/8 2 加速度＞2m/82 加速度＞2m/8 2
直线度 20μm over full travel 20μm over full travel 20μm over full travel
其他 三轴联动，重复定位精度＜5μm，真空散热---，z轴负载磁力配重，支持cnc
gcode代码控制
使用环境 气体要求 供电要求 占地空间
基本光学加工环境， 380vac; 1phase; 3.50m l x 4.0m d x 3.0 m
温控±5℃以内 6 to 8 bar 50/60hz approx.5.500kg

设备特点
● 加工口径：750mm×750mm
● 加工材料：玻璃、金属、硅、晶体yag、铌酸锂等、锗等红外材料、宝石等
● 加工精度：面形rms＜1nm与检测精度有关
● 非接触加工方式，支持平面、球面、柱面、非球面及自由曲面加工
● 去除稳定，确定性加工程度高，亚纳米级加工精度
● 不产生亚表面损伤，可修正中低频误差，加工过程中基本不产生中高频误差
● ---的离子束过程误差补偿技术
● 离子源稳定性＞95%，连续工作运行时间＞300h (不用开腔体维护)
● 高去除效率，去除率：0-0.2mm3/min范围可调
● 法拉第监测和补偿，监测离子束流特征及坐标扫描补偿
● 设备维护成本低，耗材少

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