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衬底材料是led照明的基础,也是外延生长的基础,不同的衬底材料需要不同的外延生长技术,并影响到芯片加工和器件封装。因此,衬底材料的技术路线会影响整个产业的技术路线,是各个技术环节的关键。目前,能作为衬底材料包括al2o3、sic、si、gan、gaas、zno等,但目前商用广泛的是al2o3、sic。外延片生长主要依靠生长工艺和设备。制造外延片的主流方法是采用金属有机物化学气相沉积mocvd,但即使是这种“经济”的方法,其设备制造难度也非常大。
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