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气体传感器阐述sno2薄膜气敏器件因具有-的稳定性、能在较低的温度下工作、检验气体种类多、工艺成熟等优点,是目前的主 品。此外,fe2o3也是目前广泛应用和研究的材料。除了传统的sno、sno2和fe2o3三大类外,目前又研究开发了一批新型材料,包括单一金属氧化物材料、复合金属氧化物材料以及混合金属氧化物材料。这些新型材料的研究和开发,大大提高了气体传感器的特性和应用范围。
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气体传感器样式在sno2材料内掺杂是---传感器选择性的主要方法,添加pt、pd、ir等-不仅能有效地提高元件的灵敏度和响应时间,而且,催化剂不同,导致不同的吸附倾向,从而---选择性。例如在sno2气敏材料中掺杂-pt、pd、au可以提高对ch4的灵敏度,掺杂ir可降低对ch4的灵敏度,掺杂pt、au提高对h2的灵敏度,掺杂pd降低对h2的灵敏度。
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气体传感器定做可见,在一定温度下,固定po2(1),有上式可求出传感器(+)极待测氧气的浓度。除了测氧外,应用β一al2o3、碳酸盐、nasicon等固体电解质传感器,还可用来测co、so2、nh4等气体。近年来还出现了锑酸、la3f等可在低温下使用的气体传感器,并可用于检测正离子。
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