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但是某些情况下蒸汽问题同样会困扰微型真空水泵。所有输送易蒸发的流体的真空泵都会面临这一问题。蒸汽又称可凝性气体，是相对于气体或称非可凝性气体而言的。对于任何一种气体，都存在着一个临界温度，在临界温度以上的气体，不能通过等温压缩发生液化，称为气体；而在临界温度以下的气体，靠单纯增加压力即能使其液化，便是蒸汽。空间中的蒸汽分子返回到流体内去的过程叫凝结。凝结的逆过程，即流体分子飞到空间变成蒸汽的现象，叫蒸发。
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