固态微波远程等离子体源-等离子蚀刻-微波源

成都沃特塞恩电子技术有限公司为您提供固态微波远程等离子体源-等离子蚀刻-微波源。沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统引进了德国的等离子体技术，主要由等离子体放电腔、gaox效率固态微波源、微波传输及调配器组成。
因固态微波远程等离子体源的特殊结构，等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发，在---高电离率与低重组率的同时，为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤，活性自由基对样品的作用占------，有效控制反应均匀性，减少污染，是干法处理半导体材料的更稳妥的方案。
> 采用新技术的固态微波源，频率、功率稳定性高，使用---，无需更换磁控管耗材
> 等离子体放电腔材质可选，可适用各种气体
> 体积小、集成度高、便于更换
> ---的放电腔设计，负载匹配度高，反射功率小，低于1%
> 系统运xing qi压适应范围广
> 电离率高、电离速度快
固态微波远程等离子体源的应用范围如下：
前道及后道半导体生产工序中的去胶，前道及后道半导体生产工序中的刻蚀，柔性pcb卷对卷工艺制作中聚酰yaan薄膜的刻蚀，材料表面处理
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