无尘烘箱

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东莞市全风科技有限公司为您提供无尘烘箱。无尘烘箱,mes百级烘箱简介:
无尘烘箱用于硅上薄膜电阻制造过程中的坚膜工艺、半导体制造中硅片、铌酸锂、橡胶、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影像后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、lcd、cmos、is、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘烘箱,mes百级烘箱技术参数:
温度范围
室温+10℃~250℃
温度波动度
±0.5℃
温度均匀度
≤±2℃
温度过冲
≤5℃
工作室尺寸单腔
根据要求定制
洁净度class
100級符合fed-std209e标准
功率
根据内部尺寸而定
气流控制方式
强制循环通风,控制系统根据设定之温度点通过pid自动运算输出的结果去控制加热器的输出量,终达到平衡
气流循环装置
内置空调间、循环风道及通风电机
加热方式
不锈钢加热器
隔板
每个腔体配二个隔板,用不锈钢板冲孔制成
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