京迈研3424 氮化钽靶材 TAN磁控溅射材料 电子束镀膜蒸发料

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【参数说明】
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【产品介绍】
ε氮化钽为黑色六方结晶。相对密度13.4；熔点3090℃；显微硬度1100kg/m2；热导率9.54w/ m·k ，电阻率128μω·cm。δ氮化钽为黄绿色结晶，相对密度15.6。晶格常数a=0.4336nm，c=0.4150nm，熔点2950℃，显微硬度3200kg/mm2，转化点温度17.8k。不溶于水、酸。
中文名 氮化钽 熔点 3090℃
化学式 tan 沸点 未确定
分子量 612.8771 密度 13.4g/cm3
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