BENCHMARK XLT1500进口的大尺寸平台测量系统

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900 x 1500 x 150
1250 x 1500 x 150
1500 x 1500 x 150
1250 x 2000 x 150
1500 x 2000 x 150
y-axis - 2000 mm
z-axis – 200 mm
x,y,z 光栅尺分辨率:0.5 μm
平台驱动系统:直流伺服马达 x,y,z
速度:x,y - 200 mm/sec z- 100 mm/sec
载重:100 kg
光学系统:双重放大,视场可交换式前置镜头单一放大,工厂安装背光的镜头和视场交换式前透镜
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