东莞市天测光学设备有限公司为您提供view microline 300一款桌上型半自动的cd测量仪器。主要技术参数：
◆ 测量范围(xyz)：标准：200×200×25mm；可选：300x300x25
◆ 视场内测量精度：10nm(100x 镜头)；z轴ju jiao范围：25 mm
◆ 视场内测量范围：0.5um~400um；
◆ 视场内测量重复性(100x 物镜)： 晶圆上<0.010um(1δ)；
掩模板上0.005um(1δ)；
◆ 承重：2kg
◆ 标配镜头10x，可选镜头：5x, 20x, 50x, 100x
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