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okamoto全自动晶圆减薄抛光一体机gnx200b特点：。
机械精度的调整方法：通过主轴进行调整，因为可进行定位，所以精度调整相当容易；可2处调节。
标准驱动方式：齿轴+定位销进行定位，长年使用也不会发生位移。
标准润滑方式：润滑油及防护罩，防止进入异物造成磨损。
设备刚性：高刚性，不会因老化造成精度变化，部件由自产铸金一体化生产。
全自动晶圆背面减薄机研磨机gnx200b规格：
规格 gnx200b
加工直径 ф200
轴承旋转数 0~3600min-1
轴承驱动电机 2.2/4 kw/p
轴承进给速率 1~999μm/min
主轴数 2
工作轴旋转数 1~300min-1
轴承尺寸外径 ф250
3900mm
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