导电N型6英寸碳化硅晶锭供应商

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第三代半导体碳化硅晶锭厂家苏州恒迈瑞为客户提供6英寸碳化硅晶锭晶体,根据电阻率不同可分为导电n型碳化硅晶锭电阻率0.015-0.028ω.cm及半绝缘碳化硅晶体电阻率>1e8ω.cm.单个sic晶锭厚度约20mm左右,生产交货期30天内,长期稳定发货,欢迎有测试需求的客户与我们联系获取价格。

sic晶锭的切割是sic衬底生产过程中的步骤,它对衬底的表面、尺寸和成本控制具有作用。切割工艺不仅决定了sic衬底的表面粗糙度ra、总厚度偏差ttv、翘曲度bow和弯曲度warp等参数,而且对衬底的品质、成品率和生产成本有着影响。此外,切割还直接影响到后续的研磨、抛光工序的效率和成本。



砂浆线切割:这是一种传统的切割技术,通过使用含有磨料的线和砂浆来切割sic晶锭。尽管这种方法成本较低,但其切割速度较慢,且可能在衬底表面留下较深的损伤层。

金刚线切割:金刚线切割技术使用金刚石颗粒作为磨料,通过高速旋转的线来切割sic晶锭。这种方法的切割速度快,表面损伤层较浅,有助于提高衬底的和成品率。

激光剥离技术:这是一种新兴的切割技术,通过激光束的热效应来分离sic晶锭。

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