产品性能
该射频电源采用e类放大器，特殊的滤波网络，实现波形的纯净。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、pecvd、磁控溅射、icp等 。
控制方式
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