产品性能
低频电源提供600w、1000w功率输出，频率范围350khz-450khz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。
应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体领域。应用对象包括：刻蚀、pecvd、pvd等系统
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