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电子工业用超纯水概述
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、---线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、-、---规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18mω.cm、15mω.cm、10mω.cm、2mω.cm、0.5mω.cm,以区分不同水质。
制备电子工业用超纯水的工艺流程
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺a程为:原水***沙炭过滤器***精密过滤器***原水箱***阳床***阴床***混床复床***纯水箱***纯水泵***后置精密过滤器***用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水***沙炭过滤器***精密过滤器***原水箱***反渗透设备***混床复床***纯水箱***纯水泵***后置精密过滤器***用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子edi设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的工艺,也是一种,经济,发展潜力---的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水***沙炭过滤器***精密过滤器***原水箱***反渗透设备***电去离子edi***纯水箱***纯水泵***后置精密过滤器***用水点
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