超精密加工的发展经历了三个阶段。
20世纪50年代至80年代为技术期。20世纪50年代末，出于航天、等技术发展的需要，美国发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜及载人飞船用球面、非球面大型零件等。从1966年起，美国的unioncarbide公司、荷兰philips公司和美国lawrencelivemorelaboratories陆续推出
各自的超精密金刚石车床，但其应用限于少数大公司与研究单位的试验研究，并以用途或科学研究用途的产品加工为主。这一时期，金刚石车床主要用于铜、铝等软金属的加工，也可以加工形状较复杂的工件，但只限于轴对称形状的工件例如非球面镜等。
尽管---代的变化，超精密加工技术不断更新，加工精度不断提高，各国之间的研究侧重点有所不同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同的。这些因素可归结如下。
对产品高---性的追求。对轴承等一边承受载荷一边做相对运动的零件，降低表面粗糙度可---零件的耐磨损性，提高其工作稳定性、延长使用寿命。高速高精密轴承中使用的si3n4。陶瓷球的表面粗糙度要求达到数纳米。加工变质层的化学性质活泼，易受腐蚀，所以从提高零件耐腐蚀能力的角度出发，要求加工产生的变质层尽量小。
精密机械加工工艺的作用，主要从三点来说：
一、是指导生产的主要技术文件
机械加工车间生产的计划、调度，工人的操作，零件的加工检验，精密加工，加工成本的核算，都是以工艺规程为依据的。处理生产中的问题，也常以工艺规程作为共同依据。如处理事故，应按工艺规程来确定各有关单位、人员的责任。
二、是生产准备工作的主要依据
车间要生产新零件时，首先要制订该零件的机械加工工艺规程，再根据工艺规程进行生产准备。如：新零件加工工艺中的关键工序的分析研究；准备所需的刀、夹、量具；原材料及毛坯的采购或制造；新设备的购置或旧设备改装等，均必须根据工艺来进行。
三、是新建机械制造厂的基本技术文件
新建批量或大批量机械加工车间时，应根据工艺规程确定所需机床的种类和数量以及在车间的布置，再由此确定车间的面积大小、动力和吊装设备配置以及所需工人的工种、技术等级、数量等。
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