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复合式真空发生器结构示意图
;; 根据自动机械的动作要求，把若干个喷嘴、扩张管副用串联、并联的混合方式连接起来，用以实现大排气量和高真空度的复合式真空发生器的结构如图9 所示。它的真空发生过程与串联式的完全相同。如果在结构上把两列喷嘴、扩张管副完全隔离开，用分配阀控制向两列分别供气、断气，这样复合式真空发生器就完全具备大功率、大排气量、高真空度和-率的特性，应该说是比较理想的真空发生元件。
图9：复合式真空发生器示意图
; 但是，由于其体积增的罗茨泵和1台抽速为70l/s的旋片泵组成，由它完成对sfc高、低真空室从-到70pa的粗抽，也要完成对sfc 高真空室单独抽至10pa。高真空系统由2台抽速为1500l/s 的涡轮分子泵和1台抽速150l/s的罗茨泵机组组成。真空系统由2台抽速为20000l/s的/hirfl-800低温泵和1台抽速10000l/s的低温泵组成。分子泵与低温泵共同安装在一个泵室中，分子泵与低温泵之间以及泵室与真空室之间分别由直径为250mm和630mm 的真空阀门隔开。从-抽至10pa，大约需要20min。从10pa到e-3pa 由高真空系统的分子泵完成，约需要2h。当真空度优于3e-3pa 时，低温泵开始工作。低温泵工作10h后，在sfc真空室中心平面上可以获得1.3e-5pa的真空。
; sfc真空室从安装到完成测磁工作，历时6 个多月。真空室长时间暴露于-之中，这样对要想获得1.3e-5pa的真空度是较难的。无好的办法就是烘烤。但由于真空室安装后，与磁铁、高频腔部件、注入引出元件、束诊元件等都连接在一起，再加上真空室形状复杂，所以用常规的加热带、烘烤灯等方法来加热，因受条件而无法实行。进行分析后，决定采用热水循环加热的方法，对真空室内部的线圈、覆面等那些在加速器运行时需要用冷却水的部件，在抽空时先用热水循环，进行烘烤。
; 经过计算，这部分部件在真空室中的表面积，要占整个真空室内表面积的75%。加工了一套热水循环系统，考虑到线圈是环氧浇铸，水温应控制
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