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邹城市智能道闸也在加快发展步伐,不断---,力求跟上其他配套行业发展。9、nems系统:机械,热和磁传感器和执行器,以及系统、光机械微器件和微系统、流体微组件和微系统、数据存储的微装置、微生物医学工程、微化学分析系统、微装置和系统的无线通信、高速视觉系统、用于电源和能量收集的微型设备、纳米机电装置和系统科学仪器等。1、mems器件:光学mems、射频mems、mems传感器、加速度计、陀螺仪、磁力计、电子-、硅麦克风、mems微镜、mems惯性测量单元、baw滤波器和双工器、微射流、微流引导等。*dna&rna技术、微反应器、微流引导、微流控芯片等。6、生物mems与---应用:mems技术在---处理及诊断方面的应用、dds、纳米---。4、高复合型mems:cmos/mems,lsi/mems一体化、memsip等。设计、原型测试、产品开发、量产。8、mems代工/封测:mems中式平台。封装:mems封装、装配、分析测试和校准等。其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。7、mems加工设备:光刻设备、镀膜设备、沉积设备、刻蚀设备、清洗设备设备、晶圆片键合。5、mems应用:mems传感器解决方案、麦克风,显示等、超微型机械人装置、微型工厂等、传感器网络、能量收集等。2、mems执行器:生物芯片、材料芯片、灯、泵、微流控芯片、ems电池,微发电机等、3、生物/化学mems:dna/rna技术,化学检测等、mems晶振。智能道闸也要更智能、更发展。
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