级旋片真空泵厂家往复式活塞真空泵的工作原理
发布者:东莞磊博真空设备有限公司 时间:2019-5-13 125.94.2.*
往复式活塞真空泵的工作原理
回转型机构无大的优点,是非接触式的,能够高速运转,可得到较高的抽速。但作为干式泵而言, 非接触式转子的冷却是困难的。然而对于往复式活塞泵来说,活塞和气缸的外表面都能和周围---接触,很容易被---对流散热, 而驱动机构也处在---之中,有利于散热。目前有多级干式活塞泵(vrc型)串、并联工作,---压力3~93pa,抽速140~280l/m in。四级的往复式活塞泵,其结构布置如图9所示。
图9 往复式活塞真空泵的抽气原理
这种泵由于有接触式的密封故压缩比可达到5×104~105,它能从---压抽到---压力1pa, 抽速为24m3/h。
活塞为阶梯状,在全长上有低摩擦系数的ptfe复合材料作成的衬垫保护,而气缸表面作硬化处理。故滑动面无需润滑。阶梯状活塞小直径处用唇形动密封,泄漏较少。为了增加抽速, 活塞1和2并联, 而无后的活塞4 是双向作用的,提高了活塞泵压缩比。在高压区时活塞1和2可通过辅助排气阀直接向---中排气, 作为单级泵使用了,只有当入口压力下降时, 四级才串联压缩。这种泵无大特点是无油程度较高,颗粒物进入会影响泵的正常工作。这是它的缺点。
往复式活塞真空泵的工作原理
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