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---质谱检漏仪的基本原理与结构
随着科技的迅猛发展,---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现,---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展,这些特点---地满足了当前检漏应用的需求,也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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