晶圆搬送

晶圆搬送安全且符合人体工程学的设计---了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。晶圆搬送对应可使用foup(装载口)和fosb，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计---了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。

　　人机工程学设计，操作方便

　　 可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。

　　 分别对应foup(load port)和fosb的两种机型。

　　晶圆搬送坚固、---和安全传送

　　 延续了上一代机型的坚固性、---性和安全性，能够安全---的传送300 mm晶圆。

　　 薄片，warped晶圆皆能安全搬送。

　　 宏观观察位置的zui优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。

　　为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式

　　高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。

　　晶圆搬送产品链接：

　　
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