由于派瑞林是气相沉积，它可涂覆于极细微的空间和孔隙。由于其分子级聚合作用，即一次一个分子附着于沉积表面，派瑞林涂层超薄，不会形成气孔，并能敷形涂布于元件上。派瑞林还能满足微小尺寸和极轻重量的装置的严格要求。任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。派瑞林不会---增加——这对微型植入装置来说是非常关键的一个优势。
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派瑞林真空镀膜原理，parylene真空镀膜主要采用纳米级分子材料(parylene 聚对)，在真空中蒸发后再裂解成高活性的分子聚合在产品上，形成一透明无色的分子薄膜，使水无法接触被防护组件。不但防水，同时还可以抗酸碱、耐腐蚀，由于其高透光性，也不会影响到光学镜头的清晰度。此外镀膜厚度达到纳米级.因此可以直接针---机主板进行防水处理。现在这种镀膜使用于很多电子产品上，比如磁性材料,手表手机 音响 ---头 运动耳机等等.
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parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就---1000v以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
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