涡旋真空泵生产厂家--

转动件和固定件之间的密封可直接由

水封来完成。

吸气均匀，工作平稳-，操作简单，维修方便。

水环泵也有其缺点：

效率低，一般在

30%

左右，较好的可达

50%

。

真空度低，这不仅是因

为受到结构上的---，

更重要的是受工作液饱和蒸气压的---。

用水

作工作液，---压强只能达到

2000~4000pa

。用油作工作液，可达

130pa

 

操作中的注意事项

1

、操作电气设备时，必须穿戴绝缘鞋和绝缘手套。

2

、对于反映抽放泵运行状态的各种参数瓦斯浓度、压力、孔板流

量计量压差，流量及设备温度等及附属设备的运转状态，机房内的

瓦斯浓度，在正常情况下应每小时进行观测，记录和-一次，

特殊

情况下必须随时观测，记录和-。

3

、要经常检查维护抽放系统各种计量装置，阀门和安全装置等，保

证灵活-，每天要对全部设备的外表进行一次擦洗。

4

、必须坚守岗位，实行现场交---，交---时要对所有设备进行检

查和交接，并履行台帐签字手续。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要

求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

如钛升华泵有-的抽速，但

不能抽---，而三极型溅射离子泵，

或二极型非对称阴极溅射离子泵对有一定的抽速，

两者组合起来，

便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，

有的真空泵不能在-压下工作，

需要预真空；有的真空泵出口压强低于-压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5

、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、

分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油

污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

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