水喷射真空罗茨真空泵生产厂家厂家报价
消除故障编辑
一般故障
---压力不高1管道、系统漏气。2泵部分漏气。3前极泵---压力下降。4润滑油太脏或牌号不符。5油封磨损。6溢流阀处漏气。
抽速不足1管道通导能力不够。2前级泵抽速下降。3溢流阀处漏气。
电动机过载1入口压力过高。2转子端面与端盖单面接触。3前级泵返油进泵腔。4溢流阀卡住,使出口过高。
过热1选择的前级泵抽速不够,造成压缩比过大。2入口压力过高。3冷却---。4齿轮箱润滑油过高。5转子与泵壳接触6齿轮、轴承、油封润滑---。
声音异常1装配---。2导向齿轮与转子位置偏移使转子相碰。3入门压力过高。循环冷却水冷却水供量不足,冷凝器会---,气流声音变大,真空度迅速下降,甚至蒸汽会返入抽气管。4过载或润滑---造成对齿轮的损伤。5轴承磨损。
轴承、齿轮
早期磨损---1润滑油---。2润滑油不足。
干式真空泵日常维修及保养注意事项
对于整个真空泵行业来说,在未来干式真空泵 将成为行业发展的主流趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不---,看不到带
济效益,下面小编就来给大家介绍一下干式真空泵维修和保养。
对于这些不同类型的干式真空泵,我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。当然,还有一个影
速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。真空泵维修保养非常重要。而想要改变真空泵的转速有两种方法,一是改变
采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中,采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控
现在,可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行
去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及
在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。为了方便使用并满足各种真空技术工艺的需要,有时根据单元类型应用的功能要求组合各种真空泵。
综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说*为重要而氮气用量对他来说*不重要,那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量
果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你*好的选择。
罗茨真空泵需要在纯粹的容积水平上运行,且与旋片式真空泵相比,罗茨真空泵不具有内部压缩功能。它能够对排气压力进行压缩。与旋片式真空泵相比,与介质接触的所有部件都是无油的,而且,所有适用于罗茨真空泵的部件同样适用于干式真空泵。
快速抽空
在应用中,必须实现几秒钟的抽取周期,因此操作人员必须要---罗茨真空泵和前级泵的比例为1:2。---这一比例非常的---,因为前级泵以100 hpa压强将空气泵出占用了大部分的泵出时间,而罗茨真空泵只需从10 hpa起的压力就可以有效运转。因此,前级泵尺寸必须相应地大一些才行。我们采取将卧式泵体的贮油腔适当放大,油气分离器改作悬挂式,电机直接安装在泵体上部,泵的整体高度可降低1/3左右,这样就形成了整体高度---的结构型式,---降低了泵的心,对降低振动非常有利。
启动泵
如果使用了多级泵站或者多个并行操作的真空泵组合,那就有---以交错的间隔来启动这些泵,先要启动的是---泵,这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本的断路器。这通过计时元件可很容易地在控制器和plc中实现。还有一种方法,就是使用一个变频器,缓慢地启动泵。真空系统的工艺要求镀膜机:已被广泛应用于塑料、工艺礼品、包装、光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、饰品、汽车等行业,镀膜机营销范围遍及全国。
液体侵入
突然的液体侵入会损坏泵,因为发生急剧冷却时,气体无法达到所需的温度来蒸发液体。额外的蒸汽不能及时泵出,因为前级泵已经超负荷且前级压力可能上升到过高的水平。
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