PLD450型激光镀膜设备公司择优

脉冲激光沉积选件介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售脉冲激光沉积，我们公司坚持用户为-，想用户之所想，急用户之所急，以诚为本，讲求信誉，以产品求发展，以求生存，我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。

连续组成扩展(ccs )

常规沉积条件下的组合合成

组合合成是一种基于脉冲激光沉积的、组合材料合成的新型连续组成扩展(ccs) 方法。pld-ccs 系统能以连续的方式改变材料，没有---使用掩模。可以在每一次循环中，以小于一个单分子层的速率，快速连续沉积每一种组份，其结果是基本等同于共沉积法。该法无需在沉积后进行退火促进内部扩散或结晶，对于生长温度是关键参数的研究或者被沉积的材料或基片不适合高温退火的情况是有用的。

脉冲激光沉积系统的配置介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积，我们为您分析该产品的以下信息。

1.靶: 数量6个，大小1-2英寸，被激光照射时可自动旋转，靶的选择可通过步进电机控制;

2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片，大小2英寸，加热温度可达1200摄氏度，温度差<3%，加热时基板可旋转，工作环境的压力可达300mtorr;

3.基板加热电源，高到1200度;

4.真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质，内表面电解抛光，本底真空度<5e-8 pa;

5.样品搬运室:不锈钢sus304材质，内表面电解抛光，本底真空度<5e-5 pa;

6.排气系统:分子泵和干式机械泵;

7.阀门: 采用真空挡板阀;

8.真空检测:真空计;

9.气路两套: 采用气体流量计控制;

10.薄膜生长监控系统: 采用扫描型差分rheed;

11.监控系统:基板温度的监控和设定，基板和靶的旋转，靶的更换等;

12.各种电流导入及测温端子;

13.其它各种构造:各种真空位移台，磁力传输杆，真空法兰，真空密封垫圈，真空用波纹管等;

脉冲激光沉积介绍

脉冲激光沉积系统具有---的---性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术如rf源集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料。

● 配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长。

● 可与准分子激光和yag激光相连。

● 在线监控仪器做为可选件，为客户提供高的工艺信息反馈。

● 装载室不但可以装取样品，还可以与其他生长设备或分析设备相连。

应用

● 多元素复合氧化物

● 高温超导材料

● 磁性材料、金属材料

● 低蒸汽压材料

● mems

期望大家在选购脉冲激光沉积时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多脉冲激光沉积的相关，欢迎拨打图片上的热线电话！！！

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