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真空镀膜机厚度均匀性，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类

1。基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3. 蒸发功率，速率

4. 真空度

5. 镀膜时间，厚度大小。

镀膜机开总电源，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源。

3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置v1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到v2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。

真空镀膜技术在电子方面开始是用来制造电阻和电容元件，之后随着半导体技术在电机学领域中的应用，又使这一技术成为晶体管制造和集成电路生产的---工艺手段。近年来，随着集成电路向-和---规模集成方向发展，从而又对真空镀膜技术提出了新的要求。因而在电机学领域中又产生了一个新的分支—薄膜微电子学。

真空镀膜技术在其他科学领域中的应用亦很广泛。例如，电子显微镜的标本必须经过真空镀膜处理才能观察；激光器需要镀上精密控制的光学膜层才能使用；太阳能利用也与真空镀膜技术息息相关。

如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢？本文主要讲诉了对真空镀膜设备长时间运行后的要点。

首先，必须要冲入---，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，再用将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，装好泵胆，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。真镀膜设备在重新开机时要---注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10pa，否则需要进行检漏。检查连接处是否密封，或压坏密封圈。排除漏气---后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。

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