武汉离子氮化炉电话

湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所，制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率---并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。采用---的辉光离子氮化炉，以工件为阴极，炉体为阳极，当炉内真空度抽至(1~0。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2pa)。??

roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了ar、he和空气的“apgd”。1993年okazaki小组利用金属丝网丝直径0.035mm，325目电---pet膜介质、频率为50hz的电源，在1.5mm的气体亚气、氮气、空气间隙中做了大量的实验，并宣称实现了---压辉光放电。??双极性脉冲中频靶电源，根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。

目前，对apgd的研究结果和认识是仁者见仁，智者见智。apgd的研究方兴未艾，已经受到---许多大学和研究机构的广泛重视。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百hz以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上)，溅射靶起辉放电后，由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值，与点火起辉时的高电压接近或相同。由于---压辉光放电目前还没有一个---标准，许多实验所看到的放电现象和辉光放电很相似即出现视觉特征上呈现均匀的“雾状”放电，而看不到丝状放电，但这种放电现象是否属于辉光放电目前还没有共识和定论。

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