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靶材镀膜前的清洁

在进行镀膜前都必须将基片进行清洁,对于在线镀膜来说,这是很小的事情,但对离线镀膜来说却相当重要,而且操作起来也比较困难，对于大面积的镀膜来说,将玻璃基片完全清洁干净是不可能的,因此,如何达到镀膜所必须要求的洁净程度就变得非常重要。要保持清洁程度足够高,如果清洁程度不够,膜层容易老化,甚至脱膜等现象。不同用途,不同加工工艺的膜层对清洁程度要求是不一样的,对于目前我司生产的玻璃来说, low-e玻璃要求的玻璃洁净度不如热反射玻璃高。目前要为镀膜准备大面积的镀膜玻璃基片，主要采用的是一 种湿式清洁技术,这种技术包括三部分:

1.松动玻璃表面的杂质

2.去除已经松动的、分离的杂质

3.干燥已经清洁的玻璃表面

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靶材的应用领域

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产磁控靶产品，欢迎新老客户莅临。

1 :微电子领域

2 :平面显示器用靶材

3 :存储技术用靶材

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀等行业。

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