国产蓝宝石减薄机的行业须知,北京凯硕恒盛
根据制造工艺的要求来讲,目前对晶片的尺寸、几何精度、表面洁净度以及表面微晶结构提出了较高的要求,因此,在制造工艺的过程中减薄机对晶片减薄是相对不可缺少的一部分。那么,关于晶片减薄的---性及作用具体体现哪些方面呢?
1.提高芯片的散热性能要求
在集成电路中,由于硅基体材料及互联金属层存在电阻,在电流的作用下,芯片要产生的-现象。而在芯片工作的过程中,由于部分热量的产生,使得芯片背面产生内应力。芯片热量逐渐升高,基体层之间的热差---加剧,这无疑加大了芯片的内应力。较大的内应力使芯片生产破裂,这是芯片损坏的主要原因之一。因此,只有通过减薄机对晶片背面进行减薄,才可以降低芯片热阻,有效提高芯片的散热性能,从而降低了芯片破损的风险,提高了集成电路的---性。2.集成电路制造工艺要求
通过对晶片减薄工艺后,使其有利芯片分离,在一定程度上提高了划片的以及成品率。在许多集成电路制造领域内,大家对集成电路芯片超薄化的要求是越来越高,要想得到高的超薄芯片,我们就必须通过晶片减薄工艺的方式从而获取。
通过以上两点可以得出,只有通过减薄机对晶片减薄,才能---的---芯片的厚度及尺寸等方面的要求,这也足够充分的体现了晶片减薄工艺的重要性。
硅片高速减薄机特点:
1.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2.减薄---,led蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
3.系列研磨机采用cnc程控系统,触摸屏操作面板。
1磨盘主轴系统
a 类型:滚子轴承
b 电机:ac 伺服电机(3.0kw)
c 砂轮规格:ф200mm
2) 工件盘主轴系统
a) 类型:滚子轴承
b) 电机:齿轮电机0.75kw
3) 进给系统
a) 类型:combination of ball serve&lm guide
b) 电机:微步进给电机
c) 控制:0.1μm control by linear scale feedback
4) 控制系统plc
a) 制造商:parker hannifin co.
b) 控制器:sx indexer/drive
c) 显示系统:eason 900
5) 辅助设备
a) 电源:220v,50hz,3相,5kw
b) 气压:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6mpa)
c) 离心分离机:sludge free(sf100)(选配件)
d) 水箱容量:200l
e) 冷凝器:0.5kw
f) 过滤装置:20μm,10μm cartridge filter
6) 尺寸及重量
设备尺寸:1,100(w) x 950(d) x 1,976(h)
设备重量:1,400kg
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