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大功率电解蚀刻机金属上刻字择优“本信息长期有效”

发布者:济南蓝光同茂科技有限公司  时间:2021-8-25 





“这俩机器的解释就是光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉,这样看起来似乎没什么难的,但是有一个形象的比喻,每一块芯片上面的电路结构放大无-来看比整个北京都复杂,这就是这光刻和蚀刻的难度。”

光刻机的工作原理是在硅片上涂上一层均匀的光刻胶,这种胶状物,只能被光腐蚀,而不能被化学物质腐蚀,然后利用紫外线照在上面,其中还包含了编码,用光把不需要的地方腐蚀掉,用光刻技术制作出自己需要的图形。蚀刻机被用来在光刻机“复印”到晶圆的电路轮廓上进行雕刻,蚀刻出“山地和沟壑”,形成栅极,也就是常说的晶体管。便于大家理解,简单来说,光刻机是在一块木头上作了一幅画,而蚀刻机就是根据光刻机的画雕刻出3d的作品。但实际上过程并不是我们形容的那么简单。目前我国中微半导体在蚀刻机方面也是取得了重大成果。





蚀刻

1.化学蚀刻

蚀刻液一般都是强酸或强碱。尽可能使反应快速完成,一般蚀刻速度为0.04mm/分钟,蚀刻速度越快,侧蚀的程度就越小,所得到的工件精密度就越高。

2.电化学蚀刻

把工件做阳极,在电解液中通电,工件上未被保护部位因作阳极而溶解,从而达到蚀刻的目的。电化学蚀刻的蚀刻速率一般由工件表面的电流密度来控制。

对于蚀刻完成既为成品的产品,直接退去保护油墨。要根据所采用的油墨性质来选用脱墨液:

1.对于水性油墨,可采用20%水溶液/50~60℃浸泡约十分钟,然后擦拭,去除油墨。

2.对于油性油墨,要用进行浸泡约十分钟,然后进行擦洗去除。

对于蚀刻的成品,进行手工填漆、电泳涂装或者电镀,从而形成同一平面两种双色甚至多种颜色的外观效果







水平蚀刻机的设计,应充份考虑到金属产品的厚度,是半蚀刻多还是蚀穿的产品多。产品越薄,对蚀刻的要求也就越高,-是厚度低于0.2mm以下的产品,由于板材比较薄,虽然是金属,但还是表现出比较柔软,容易出来卡板、变形等现像。因此在规划设备时,要预估我们重点是做薄片还是厚片,要薄片比较多,那么传动滚轮要比较密一点,而且上下滚轮数量必须对等。

      作为一台精密蚀刻的蚀刻机,其-就是喷淋泵,-是不锈钢蚀刻,若喷淋泵的压力小于2.5kg/cm2,蚀刻液对不锈钢表面作用所产生的黑膜将无法完全清除,导致的结果就是蚀刻速度慢,半蚀刻蚀刻底纹表面不够光滑细腻,出现随机粗糙,几乎没有规律可寻。






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