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背压法---质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的---气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，---气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中---分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏标准主要有qj3212-2005《---质谱背压检漏方法》、gjb360a-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》，主要应用于各种电子元器件产品检漏。

充注检漏气体前，试件必须抽空

为正确试漏，在充注检漏气体前将试件预抽空是完全-的，-是对几何形状长和窄的试件尤为重要。如果充注前未抽空，试件中的空气将被挤压至几何空间的终端，而检漏气体不可能进入这个部位，从而潜在的漏孔将仅释放空气，检漏仪则不能检测到这些漏孔。

如果采用低压力的检漏气体充注试件，抽空也是-重要的，因为试件中残留的空气将稀释充注的检漏气体。例如：如果试件中残留-压空气，充注添加一个-压的检漏气体后，试件中的检漏气体浓度便降为50%，而如果充注添加两个-压的检漏气体，检漏气体浓度则为66%。

喷---法---质谱检漏方法

这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷---,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当---喷到漏孔上时,---气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,---质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷---,喷---时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。

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