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超纯金属的制备有化学提纯法如精馏---是金属氯化物的精馏及氢还原、升华、溶剂萃取等和物理提纯法如区熔提纯等见硅、锗、铝、铟。其中以区熔提纯或区熔提纯与其他方法相 结合有效。

由于容器与药剂中杂质的污染，使得到的金属纯度受到一定的---，只有用化学方法将金属提纯到一定纯度之后，再用物理方法如区熔提纯，才能将金属纯度提到一个新的高度。可以用半导体材料锗及超纯金属铝为例说明典型的超纯金属制备及检测的原理见区域熔炼。铜与铝相比较，铜具有更高的抗电迁移能力及---的电阻率，能够满足。

-由于具有---的物理化学性能，当代科学技术的飞速发展，-将会越来越多的应用于-中的航空、航天、航海、火箭、原子能、微电子技术等---领域及石油化工、化学工业、汽车尾气净化等与人类生活息息相关的领域，并在众多的应用领域中起着关键的---的作用，因此被誉为“首要高技术金属”、“现代工业的---”“现代新金属”，发达的-长期以来一直把-视为“-物质”。钨过去用作灯泡的灯丝，由于脆性而使处理上有困难，在适当提纯之后，这种缺点即可以克服钨丝也有掺杂及加工问题。

钨-钛w-ti膜以及以钨-钛w-ti为基的合金膜是高温合金膜，具有一系列---的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能，w/ ti 合金具有低的电阻系数、---的热稳定性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线，例如al 、cu 和ag 等已经被广泛的应用和研究。但只当金属纯度达到---的标准时如纯度9以上的金属，物理杂质的概念才是有意义的，因此目前工业生产的金属仍是以化学杂质的含量作为标准，即以金属中杂质总含量为百万分之几表示。但是布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应,与介质层的粘结性差,易扩散进入si 与sio2 等器件的衬底材料中，并且在较低的温度下会形成金属与si 的化合物, 充当了杂质的角色,使器件的性能大幅度下降。

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