旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。真空泵维护要注意的事项维修中,应注意下述几点:该泵制造精度较高,不是非常-则不必拆开,以检修不当,降低精度。旋片真空机-用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
而立式无油往复泵机组以zj泵为主泵，以wlw型方式无油泵为前级泵串联而成，由于wlw型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。2、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空泵故障检测方法
真空泵起动艰苦
(1)真空泵已返油，用手扳动皮带轮旋转数周，便可起动，
(2)因为历久不运转或停机后未放入-，使真空泵腔内充斥真空泵油。用手扳动皮带轮旋转数周，便可起动，
(3)油温太低，应给油加温或让室内温度坚持在15度以上，也能够用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，便可失常事情
(4)油已蜕变，应调换新的真空泵油，
(5)电源缺相，应检验电源。
真空泵性能恢复的一些方法
旋片与转子的装配是很重要的，而转子和泵腔的上切点间隙、旋片与端盖之间的间隙，即高、低真空室双面间隙和转子切点间隙是修理和制造中的关键。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。即使如此但如果装配不当，泵的材料太差，也是有卡死或研坏的危险的。故应在实践中以试验来决定，不能一律对待。
一般真空度较差的泵，适当调整装配间隙和油路，是能收到较佳效果的。
间隙测量应当认真，除应经校准符合规定精度外，工件应清洗、凉干，一般重复测量几次。做好记录。然后综合泵的各方面情况，决定修磨尺一。试抽测该泵性能时，热偶真空计等相对规应进行校准。
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