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双枪电子束蒸发镀膜机厂家优选企业

发布者:沈阳鹏程真空技术有限责任公司  时间:2020-4-25 





电子束蒸发镀膜机技术特点介绍

采用了真空密封技术,-真空度高,蒸发室可进入10-5pa量级≤5×10-5pa电子枪静止状态,可-更高的镀膜纯净度,提高镀膜。

真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路不用橡胶管路,采用高真空阀门。

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电子束蒸发镀膜设备简介

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高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10kw e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物ito等氧化物/导电薄膜/光学薄膜等。



双枪电子束镀膜机介绍

电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式,它可以蒸发任何一种镀膜材料,它的工作方式是:将镀膜材料放在坩埚里面,将蒸发源制作成灯丝形状,采用一专门的控制柜,对灯丝加一强电流,高电压,由于灯丝的材料是钨,所以它会-,然后会发射电子,再采用一定的磁场将其-成一定形状,并牵引到坩埚上,这样就形成了一股电子束,由于电子束温度非常高,可以熔化任何镀膜药材,当镀膜药材被电子束熔化后有些材料是直接升华,药材的分子原子或者离子在真空中成直线运动,然后遇到基板,就凝结下来,经过这种方式生长,形成薄膜!

常用的有将电子束的偏转角制作成270度,、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度,运行轨迹为c型的c型电子枪两种。

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