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冷凝器-检漏服务机构品牌企业

发布者:北京科创鼎新真空技术有限公司  时间:2020-4-27 





为什么用---气作为检漏的气体?

1.---气分子量小,扩散性强、渗透率高,即可以通过较小的孔。

2.---气在空气中的体积含量约为5ppm,这说明正常空气环境中---气的含量很小,即---本底---。

3.---气是---无色无味的惰性气体,这就意味着,正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在,且不发生反应。

4.在质谱仪谱图中易于与其它物质区分。

5.综合以上几个特点,---气作为一种检漏的示踪气体,是较佳的选择。





---气在在半导体中的检漏作用

为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞,所以在元器件封装之后,就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 ---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小,容易穿过小洞而进入到管壳内部,所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞即能够检测出漏气速率约为10?11~10?12cm3/sec的小洞,灵敏度可与性检漏方法---,但要比性检漏方法简便。

---气检漏试验的方法:首先把封装好的元器件放入充满---气的容器中,并加压,让---气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留---气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的---气。





---质谱检漏用---气的选择


---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25k,临界压力为2.26×105pa,1atm压力下的沸点为4.214k,熔点为0.9k,三相点温度为2.186k,三相点压力为51.1×10-2pa,在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k),在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k),在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s,1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。







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