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太原LAALO3晶体基片价格-的选择

发布者:合肥合瑞达光电材料有限公司  时间:2020-4-29 

铝酸-laalo3晶体当升温时在560±10℃有一从三角相到立方相的相变,相变为连续的转变较快的区域在500-560℃之间,降温时为可逆的,且无明显的热滞,并用g射线衍射法证实570℃为立方相,室温为三角相。但从差热分析相变过程的热效应不明显,可认为相变为高于一级相变。而相变时晶格畸变小,及热效应不-,因此对材料的使用影响不大。laalo3晶体尺寸可按照客户需求,定制特殊尺寸10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 dia1″×0.5、dia2″×0.5等。






技术参数:晶向:<100>;、<110>;、<111>;;晶体结构:赝立方;晶格常数:a=3.792a;生长方法:提拉法;熔点:2080℃ ;密度:6.52g/cm3;莫氏硬度:6.5 mohs;热膨胀系数:10×10-6/℃;介电常数:25;损耗正切10ghz):~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k 。抛光情况:单抛或双抛 <110>; ra<15a,<100>;和<111>; ra<5a。laalo3晶体是以定化学配比的la2o3和al2o3为原料,在200℃下用提拉法生长的,然后经标准工艺切割和抛光,制成5×10mm2的laalo3晶片,晶向为[001]。








铝酸-laalo3晶体具有大的禁带宽度(5-6ev),高的介电常数值(~25)和-的热稳定性使其成为替代si基1金属-氧化物-半导体场效应晶体管中sio2的zui佳替代材料。laalo3晶体在560℃附近要发生结构相变,从高温时的立方结构变为常温时的三方结构。由于相变的存在,laalo3晶体中出现了复杂的畴结构,这种缺陷影响 laalo3晶格完整性和其作为衬底材料的性能。为了提髙此晶体的,人们进行着包括退火、掺杂等在内的各种探索。







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