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北京-质谱检漏仪厂家来电咨询“本信息长期有效”
随着科技的迅猛发展，-质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的-质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新-质谱检漏仪的性能特点发现，-质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等-方向发展，这些特点-地满足了当前检漏应用的需求，也-的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。-质谱检漏仪的基本原理与结构-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。将这种气体喷到接有气体分析仪调整到仅对-气反应的工作状态的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的-离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和-气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，-气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。-质谱检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法-质谱检漏仪原理的-质谱检漏仪特点：1。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到-震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将-源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制-源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。-质谱检漏仪的基本原理与结构-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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2、真空箱内-气本底抑零，-了检漏的准确性、-；
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4、实时监测-气压力和浓度，-了工件检测的精度；
5、可对使用过程中产生的浓度不合格-气进行提纯，-降低-气损耗功能可选；
6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；
7、定制的的密封接头，稳定-，减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，-了系统的操作安全及-运行。
今天和大家分享的是-气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！
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