parylene【派瑞林】的原理是用---的真空气相沉积工艺cvd技术制备,由活性小分子在基材表面生长出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,号称无孔不入可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,甚至被业内称为当今的防潮、防霉零级、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。
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一些新的三防涂覆技术应运而生,其中真空涂覆技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术。真空涂覆技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的涂覆,从而使固体表---有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、、---、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的---性能,达到提高产品、延长产品---、节约能源和获得---技术经济效益的作用。
因此真空涂覆技术被誉为发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出-的市场前景。
parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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