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在 fed-std-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细
而所给予-设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之-的洁净度日及温湿度,使产品能在一个-之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。更衣室要保持-的通风和采光,室内可以通过安装紫外灯或臭氧发生器对室内的空气进行---消毒。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负
净化车间
通风与采光:净化车间应该拥有-的通风条件,如果是采用自然通风,通风的面积与净化车间地面面积之比应不小于1:16。若采用机械通风,则换气量应不小于 3 次/小时,采用机械通风,净化车间的气流方向应该是从清洁区向非清洁区流动。自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。靠自采光的净化车间,净化车间的窗户面积与净化车间面积之比应不小于1: 4。净化车间内加工操作台的照度应不低于220lux,车间其他区域不低于110lux,检验工作场所工作台面的照度应不低于540lux,瓶装液体产品的灯检工作点照度应达到1000lux,并且光线不应改变被加工物的-。车间灯具须装有防护罩。
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