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真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用

真空计：真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计，真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。成膜控制系统，薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定极值值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定极值监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是-确，需要依靠经验。

真空镀膜设备在显示器件方面需求及应用

在显示器件方面，录象磁头、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜、-管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。在元件方面，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器，蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品，如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。

真空镀膜设备对镀件与镀膜层有杰出的触摸功能与较高的结合力，真空磁控溅射镀膜机热膨胀系数相差小，不起反响，流平功能好。

真空镀膜设备具有杰出的真空功能。底涂层固化后放气量少、热应力小、耐热功能好。真空磁控溅射镀膜机成膜功能好，涂层的致密度、掩盖才能、抗溶剂才能与耐光照才能等功能杰出。真空磁控溅射镀膜机与面涂层有杰出的相溶性。因为镀膜层极薄有孔隙，请求底涂层和面涂层的溶剂和稀释剂有杰出的相溶性。

箱式真空镀膜机

采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，-适合放置在净化间内做穿墙式安装。

设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。

采用管状加热器上烘烤，烘烤温度均匀，-，可达到烘烤温度350℃，烘烤均匀性270℃±10℃。

工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳-。

采用石英晶体膜厚控制仪，可实现镀膜过程的自动控制。

采用-的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定-，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。

适用范围:用于生产ir-cut滤光片、分色滤光片、高反射膜、ar膜、长波通、短波通和多种电学薄膜

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