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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。超纯气体的制备大多是从工业气体加以纯化，有吸附法、吸收法、薄膜扩散法、电解法、生化法、辐射法、光解法、低温精馏法、催化法等。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，lsi-集成电路级，vlsi-规模集成电路)级和ulsi(-规模集成电路级。    

           近几年来，智研数据研究中心随着我国-规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是-。再者，-的执导率高，增加了人仃热损失率，以至于常常必须使用有效的潜水衣和呼吸气预热器。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四---碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯---已成功打开-。

电子气体主要包括：-、---、乙-、溴-、硒-、-硅、四---碳、---三氢、-氢硅、-化硼、三氟---、三---氮、---、------、六---钨、六---硫、---氢、磷烷、-、---氢、-气、氨气、电子级---等.

其中六---硫、电子级---、---氢、磷烷使用较多。

高纯氧化铝能有效提高ptfe的耐电弧烧蚀性能。

 添加无机填料能有效的提高喷口材料耐电弧烧蚀性能。当填料种类不同时，复合ptfe的电弧烧蚀量依次为：

 复合mos2的ptfe烧蚀量>;复合三氧化二铝的ptfe烧蚀量>;复合bn的ptfe烧蚀量。

 高纯氧化铝的粒径范围是在5-10um，纯度为99.9999%为好。

 高纯氧化铝还能提高ptfe的耐高温性能，耐磨性能。

高纯-气  天然气厂家分享分子筛空分制氮气是以空气为原料，以碳分子筛作为吸附剂，运用变压吸附原理，利用碳分子筛对氧和氮的选择性吸附而使氮和氧分离的方法，通称psa(pressure swing adsorption制氮气。氧、氮两种气体在分子筛表面上的扩散速率不同，直径较小的气体分子o2扩散速率较快，较多的进入碳分子筛微孔，直径较大的分子n2扩散速率较慢，进入碳分子筛微孔较少。此法是七十年代迅速发展起来的一种新的制氮技术。与传统制氮法相比，它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低，产品纯度可在较大范围内根据用户需要进行调节，操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点，故在1000nm3／h以下制氮设备中颇具竞争力，越来越得到中、小型氮气用户的欢迎，psa制氮气已成为中、小型氮气用户的shou选方法

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